超聲波清洗源于二十世紀六十年代，自超聲波技術問世以來，科學家們發現：一定頻率范圍內的超聲波，作用于液體介質里，可以達到清洗的作用。經過一段時間的研究和試驗，不僅得到了滿意的效果，而且發現其清洗效率極高，由此超聲波清洗機被逐漸運用于各行各業中去。在應用初期，由于電子工業的限制，超聲波清洗設備電源的體積比較龐大，穩定性及使用壽命不太理想，價格昂貴，一般的工礦企業難以承受，但其出色的清洗效率及效果，仍然讓部分實力雄厚的國有企業一見傾心。
隨著電子工業的飛速發展，新一代的電子元器件層出不窮，應用新的電子線路以及新的電子元器件，超聲波電源的穩定性及使用壽命進一步的提高，體積減小，價格逐漸降低。二十世紀八十年代末，第三代超聲波電源問世，既逆變電源，應用最新IGBT元件。新的超聲波電源具有體積小，可靠性高，壽命長等特點，清洗效率得以進一步提高，而價格也降到了大部分企業可以接受的程度。眾所周知，人們所聽到的聲音是頻20~20000Hz的聲波信號，高于20000Hz的聲波稱之為超聲波，聲波的傳遞依照正弦曲線縱向傳播，即一層強一層弱，依次傳遞，當弱的聲波信號作用于液體中時，會對液體產生一定的負壓，使液體內形成許許多多微小的氣泡，而當強的聲波信號作用于液體時，則會對液體產生一定的正壓，因而，液體中形成的微小氣泡被壓碎。
經研究證明：超聲波作用于液體中時，液體中每個氣泡的破裂會產生能量極大的沖擊波，相當于瞬間產生幾百度的高溫和高達上千個大氣壓，這種現象被稱之為“空化效應”，超聲波清洗正是應用液體中氣泡破裂所產生的沖擊波來達到清洗和沖刷工件內外表面的作用。
當超聲波電源將50Hz的日常供電頻率改變為28KHz后，通過輸出電纜線將其輸送給粘接在盛放清洗溶液的清洗槽底部的超聲波發生器(換能器)，由換能器將高頻的電能轉換成機械振動并發射至清洗液中，當高頻的機械振動傳播到液體里后，清洗液內即產生上述空化現象，達到清洗的目的。
由于超聲波的率很高，在液體中所產生的空化作用可以達到28000次/秒，幾乎可以說是不斷地在進行，在液體中由于空化現象所產生的氣泡數量眾多且無所不在，因此對于工件的清洗可以非常徹底，即使是形狀復雜的工件內部，只要能夠接觸到溶液，就可以得到徹底的清洗，又因為每個氣泡的體積非常微小，因此雖然它們的破裂能量很高，但對于工件和液體來說，不會產生機械破壞和明顯的溫升。
一般來說：超聲波清洗設備，其頻率應在20KHz-80KHz之間，頻率低噪音大，換能器的體積也偏大，高頻率的超聲波通常被應用于探傷，醫療診斷和超聲波加濕。
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