真空碳氫清洗設備是由超聲波系統，真空脫氣系統，循環過濾系統，機械臂系統，真空干燥系統，真空蒸餾回收系統，HC濃度監測系統，自動滅火系統，電氣控制系統等組成。
與其他超聲清洗設備一樣，真空清洗設備中主要是利用超聲波空化效應提高洗凈力,最基本的組成是：超聲波發生器，換能器和清洗槽。超聲頻率一般在25～40kHz，換能器由多個振頭并聯組成，電能被轉換成機械振動能，并通過換能器傳遞到清洗槽中，使清洗液形成疏密相間的超聲波聲場，清洗液中的微氣泡（空化核）在聲場的作用下振動、生長和突然閉合，而在氣泡周圍產生極大的沖擊波，形成幾千到上萬的大氣壓以及瞬時高溫，這就是超聲波的“空化”作用。
空化作用具有非常優良的清洗和乳化作用，使油污脫離工件的表面，從而達到了快速、干凈的清洗。
在清洗過程中，清洗槽內的液體殘存的氣體較多，含氣量通常是水的8~10倍，增強了超聲波傳播衰減，含氣的空化泡會降低空化強度，影響了超聲波的空化效應和清洗效果。當采用真空清洗時，清洗槽蓋會自動關閉，真空脫氣系統啟動，將槽內空氣抽盡，在真空狀態下將盲孔、縫隙內及清洗劑中的氣體抽出，超聲波啟動，搖擺裝置啟動，帶動籃轉動，到設定的清洗時間后，真空釋放，缸蓋自動打開，清洗籃進入下一槽進行碳氫系統洗凈。
真空碳氫清洗機技術特點：
１）設置脫氣裝置，提高超聲波效果
液體在常壓下溶解有大量空氣，降低了超聲波的空穴強度，因而不能達到最佳清洗效果；
2）真空清洗干燥的優點
被清洗零件進入蒸汽清洗干燥槽后，干燥槽內迅速形成真空，碳氫化合物沸點下降，溶劑迅速蒸發，縮短了干燥時間，同時避免了熱風干燥帶來的二次污染及不安全性，提高干燥效果。其優點如下：
（1）能吸出盲孔、狹縫以及零件之間的空氣，使清洗液容易流入，清洗能力大幅提高；
（2）清洗液經脫氣后，超聲清洗效果更好；
（3）可以將清洗液加熱至閃點以上，使清洗液對污垢的溶解力倍增；
（4）在清洗工序中，利用高溫清洗液傳遞給被洗零件均衡的熱量，使干燥工序得以順利進行；
（5）在真空狀態下，溶液沸點下降，蒸發速度加快；同時，因迅速形成真空，使附著在物體上的溶劑一同揮發。
（6）替代ODS，該技術可涵蓋傳統的氟里昂、三氯乙烷等清洗設備，清洗劑對塑膠材料無溶脹性，可安全用于精密馬達/塑膠制品的除油污清洗，尤其對有盲孔、狹縫或易疊加零件、沖壓件等設備清洗效果顯著，是目前替代ODS較為理想的清洗設備。
真空碳氫清洗機是利用超聲波滲透力強的機械震動力沖擊工件表面，并結合碳氫清洗劑的化學去污作用，在真空狀態下進行全面清洗，使工件表面和盲孔、狹縫干凈。
